HFU(Hepa Filter Unit, 통칭 Hepa Box) 는 팬 없이 깨끗한 공기를 여과하여 공급하는 장치입니다. 천장 장착형 공기 공급 Hepa 필터를 포함한 Hepa 필터 박스는 다방향 공기 흐름을 갖춘 클린룸 설계의 필수 부분입니다.
HFU의 구조
HFU 공기 필터 카트리지의 분류
작동 원리
공기 필터 박스(HFU)에는 내부에 HEPA 필터가 설치되어 있으며 일반적으로 클린룸 천장에 고정되어 있으며 신선한 공기 공급 시스템에서 이를 공급합니다(박스 내부의 헤파 필터에 먼지 부하를 줄이기 위해 사전 필터링됨). 에어 디퓨저 마스크를 거쳐 미세 필터를 통과하여 클린룸 내로 고르게 분배합니다.
명세서